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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
9:1 2002.02[民91.02]
頁12-16
電機工程
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電燈廠
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題名
無磨粒銅製程化學機械研磨平坦化技術
作者
方政煜
;
蔡明蒔
;
戴寶通
;
馮明憲
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷期
9:1 2002.02[民91.02]
頁次
頁12-16
分類號
448.57
關鍵詞
平坦化
;
ULSI積體電路製作
;
化學機械研磨技術
;
語文
中文(Chinese)
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