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來源資料
電子月刊
7:9=74 2001.09[民90.09]
頁130-136
電機工程
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電燈廠
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題名
淺談銅金屬化學機械研磨製程
作者
王廷君
;
王英郎
;
謝宗雍
;
邱紹裕
;
書刊名
電子月刊
卷期
7:9=74 2001.09[民90.09]
頁次
頁130-136
專輯
積體電路技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
銅金屬
;
化學機械研磨
;
積體電路
;
語文
中文(Chinese)
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