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來源資料
電子月刊
11:9=122 民94.09
頁150-158
電機工程
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電燈廠
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題 名
無砥粒化學機械研磨技術應用於降低銅金屬導線平坦化製程中之圖形效應
作 者
方政煜
;
黃秉緯
;
李美儀
;
蔡明蒔
;
戴寶通
;
馮明憲
;
書刊名
電子月刊
卷 期
11:9=122 民94.09
頁 次
頁150-158
專 輯
積體電路技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
化學機械研磨
;
銅金屬導線
;
平坦化製程
;
語 文
中文(Chinese)
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