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| 題 名 | 動態隨機存取記憶體製程技術趨勢=The Trend of Dynamic Random Access Memory Process Technology |
|---|---|
| 作 者 | 王念民; | 書刊名 | 電腦與通訊 |
| 卷 期 | 72 1998.09[民87.09] |
| 頁 次 | 頁56-62 |
| 專 輯 | 積體電路設計及應用技術專輯 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 動態隨機存取記憶體; 化學機械研磨; 自行對淬金屬矽化物; 絕緣層上有矽; 淺溝式隔離; Dynamic random access memory; DRAM; Chemical mechanical polishing; CMP; Self-aligned silicide; Salicide; Silicon on insulator; SOI; Shallow trench isolation; STI; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |