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題名 | 動態隨機存取記憶體製程技術趨勢=The Trend of Dynamic Random Access Memory Process Technology |
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作者姓名(中文) | 王念民; | 書刊名 | 電腦與通訊 |
卷期 | 72 1998.09[民87.09] |
頁次 | 頁56-62 |
專輯 | 積體電路設計及應用技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 動態隨機存取記憶體; 化學機械研磨; 自行對淬金屬矽化物; 絕緣層上有矽; 淺溝式隔離; Dynamic random access memory; DRAM; Chemical mechanical polishing; CMP; Self-aligned silicide; Salicide; Silicon on insulator; SOI; Shallow trench isolation; STI; |
語文 | 中文(Chinese) |