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題 名 | CMOS揮發性記憶體製程技術簡介=Introduction to CMOS Volatile Memory Process Technology |
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作 者 | 王念民; | 書刊名 | 電子技術 |
卷 期 | 141 1997.12[民86.12] |
頁 次 | 頁184-190 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 動態隨機存取記憶體; 靜態隨機存取記憶體; 化學機械研磨; 薄膜電晶體; 軟錯記; Dynamic random access memory; DRAM; Static random access memory; SRAM; Chemical mechanical polishing; CMP; Thin film transistor; TFT; Soft error; |
語 文 | 中文(Chinese) |