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題名 | 積體電路製程技術趨勢=The Trend of Integrated Circuit Process Technology |
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作者 | 王念民; | 書刊名 | 電子技術 |
卷期 | 140 1997.11[民86.11] |
頁次 | 頁144-156 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 淺溝式隔離; 自行對準金屬矽化物; 氧植入隔離; 快速加熱製程; 旋塗式玻璃; 化學機械研磨; Shallow trench isolation; Self-aligned silicide; Separation by implanted oxygen; Rapid thermal processing; Spin on glass; Chemical mechanical polishing; |
語文 | 中文(Chinese) |