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題名 | 銅金屬與低介電常數材料與製程 |
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作者 | 楊正杰; 張鼎張; 鄭晃忠; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 167 2000.11[民89.11] |
頁次 | 頁121-126 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 銅金屬; 低介電常數; 多層導體連線; 化學機械研磨; 旋塗式玻璃; Copper metal; Low K dielectric constant; Multilevel interconnects; Chemical mechanical polishing; Spin-on glass; SOG; |
語文 | 中文(Chinese) |