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來源資料
電子月刊
4:11=40 1998.11[民87.11]
頁86-91
電機工程
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電燈廠
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題名
深次微米元件之超薄氧化層製備
作者姓名(中文)
趙天生
;
書刊名
電子月刊
卷期
4:11=40 1998.11[民87.11]
頁次
頁86-91
專輯
積體電路技術
分類號
448.57
關鍵詞
深次微米元件
;
超薄氧化層
;
語文
中文(Chinese)
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