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題 名 | 半導體設備中流量控制器的介紹與分析 |
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作 者 | 鄭木火; 張少貢; 黃建榮; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 171 1997.06[民86.06] |
頁 次 | 頁164-174 |
專 輯 | 電子產品關鍵機械技術專輯 |
分類號 | 448.533 |
關鍵詞 | 半導體設備; 流量控制器; Mass flow controller; MFC; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文將介紹半導體設備中的主要元件-流量控制器(Mass Flow Controller (MFC)) 。本文首先介紹流量測量與控制的基本架構與原理。然後探討分析流量控制器的核心技術- 流量感測電路。我們將詳細分析介紹三種不同型式且目前普遍採用的流量感測電路技術,共 五個不同電路。其中各電路的工作原理及不同特性都加以分析說明。最後我們介紹由各電路 所組合而成的簡單流量控制器,及以一半導體製造設備中普遍被使用的氣體整合控制組件為 例介紹流量控制器的應用。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。