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題 名 | 半導體設備關鍵零組件:質流控制器MFC |
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作 者 | 李建興; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 174 1997.09[民86.09] |
頁 次 | 頁157-165 |
專 輯 | 機械關鍵零組件專輯 |
分類號 | 447.552 |
關鍵詞 | 半導體設備; 關鍵零組件; 質流控制器; MFC; Mass flow controller; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 依估計, 蓋一座半導體廠約有七成左右的成本是用在向國外採購半導體生產設備 上。假若,再加上日後運轉時的基臺維護,這其中所蘊藏的數字將是相當驚人。然而目賭這 塊大餅在美、日與歐洲各國設備廠商的爭相奪食卻無緣與共,確是我國機械產業心裡的痛。 除此之外,設備製造技術無法落實亦是我國半導體生產技術未來是否能夠深耕、競爭力能否 持續的一大隱憂。 有鑑於此,工研院機械所機械零組件發展組遂自 FY86 起,在科專計畫〞機械業關鍵零組件 技術研究發展第二期四年計畫〞中提出〞半導體設備空壓零組件分項計畫〞。本部門 -- 動 力零組件部銜命負責其中的〞精密控制閥子計畫〞。本文當中除了將簡介即將開發的質流控 制器( Mass Flow Controller,以下簡稱 MFC )這項產品外,另先就半導體產業、製程為 各位做一概述, 可使讀者更清楚了解 MFC 在半導體製程中的關鍵角色,亦供關心或是有機 會接觸 IC 產業的讀者或可將本文做為入門參考。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。