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來源資料
化工技術
2:7=16 1994.07[民83.07]
頁108-120
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題名
積體電路之薄膜製造技術
作者姓名(中文)
蔣經華
;
陳宏銓
;
書刊名
化工技術
卷期
2:7=16 1994.07[民83.07]
頁次
頁108-120
專輯
電子材料製程專輯
分類號
448.57
關鍵詞
製造技術
;
積體電路
;
薄膜
;
語文
中文(Chinese)
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