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來源資料
機械工業
267 2005.06[民94.06]
頁36-46
電機工程
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電燈廠
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題 名
奈米轉印技術發展現況=Introduction of the Nanoimprint Technique Development
作 者
陳守仁
;
巫震華
;
何侑倫
;
王維漢
;
陳來勝
;
書刊名
機械工業
卷 期
267 2005.06[民94.06]
頁 次
頁36-46
專 輯
奈米機械技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
奈米轉印微影術
;
奈米製造技術
;
奈米圖案
;
Nanoimprint lithography
;
NIL
;
Nano fabrication technique
;
Nano-pattern
;
語 文
中文(Chinese)
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