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題名 | 奈米雙晶界對(111)取向銅接合的影響=Effect of Nanotwin Boundary on the (111)-oriented Cu Bonding |
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作者姓名(中文) | 呂璨夆; 褚亦洋; 吳耀銓; | 書刊名 | 鑛冶 |
卷期 | 67:3=263 2023.09[民112.09] |
頁次 | 頁50-54 |
分類號 | 448.6 |
關鍵詞 | 三維積體電路; 銅-銅直接接合; 奈米雙晶銅; 雙晶界; Three-dimensional integrated circuits; Cu-Cu bonding; Nanotwinned Cu; Twin boundary; |
語文 | 中文(Chinese) |