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題名 | 應用於高效太陽能電池之薄膜鈍化製程=Applied to the Post Annealing Process of High-efficiency Solar Cells |
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作者姓名(中文) | 黃玉君; 莊文魁; 田偉辰; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 33:2 2020.06[民109.06] |
頁次 | 頁26-37 |
分類號 | 468.1 |
關鍵詞 | 三氧化二鋁薄膜; 原子層沉積系統; 鈍化射極與背面太陽電池; 高溫後退火製程; Aluminum oxide film; Al₂O₃ film; Atomic layer deposition system; ALD; Passivated emitter and rear cell; PERC; High temperature post annealing process; |
語文 | 中文(Chinese) |