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題名 | 氣體阻障層結構沉積在圖案化基材表面階梯覆蓋性之研究=A Study on the Step Coverage of a Gas Barrier Structure Deposited Onto the Patterned Substrate |
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作者姓名(中文) | 劉華文; 陳泰宏; 張鈞豪; 徐若名; 黃聖博; 陳志強; 陳信嘉; 陳順祺; 劉代山; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 29:4 2016.12[民105.12] |
頁次 | 頁46-54 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 圖案化光阻; 電漿增強化學氣相沉積; 氣體阻障層結構; 階梯覆蓋率; 水氣滲透率; Patterned photoresist; Plasma-enhanced chemical vapor deposition; Gas barrier structure; Step coverage; Water vapor transmission rate; |
語文 | 中文(Chinese) |