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題 名 | 以雷射輔助電漿增強化學氣相沉積系統沉積矽薄膜太陽能電池 |
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作 者 | 張智翔; 曾俊硯; 李欣縈; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 17:11=196 2011.11[民100.11] |
頁 次 | 頁80-97 |
專 輯 | 半導體光電技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 矽薄膜太陽能電池; 雷射輔助電漿增強化學氣相沉積系統; 微晶結構; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究將二氧化碳雷射導入傳統式電漿增強化學氣相沉積系統中,以沉積矽薄膜來製作太陽能電池,二氧化碳雷射能提供更多能量以使矽甲烷氣體更完全解離,由此方法所沉積出之矽薄膜除有較高的薄膜品質外,尚具有微晶結構,因此能有效提升矽薄膜太陽能電池的穩定度及降低光衰退效應。藉由拉曼系統、穿透式電子顯微鏡、傅立葉轉換紅外線光譜儀、霍爾量測、以及太陽模擬光源等系統,量測薄膜之光電特性,並製作太陽能電池元件,再以太陽模擬光源系統量測其光電轉換效率與穩定度,藉以說明雷射輔助電漿增強化學氣相沉積系統之效果。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。