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題名 | 用於矽薄膜太陽能電池之VHF PECVD之射頻關鍵技術 |
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作者姓名(中文) | 葉昌鑫; 李炳寰; 翁敏航; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 18:5=202 2012.05[民101.05] |
頁次 | 頁186-196 |
分類號 | 468.1 |
關鍵詞 | 矽薄膜太陽能電池; 駐波; 電磁; VHF PECVD; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 電漿增強式化學氣象沈積系統(PECVD)可說是矽薄膜太陽能電池三大生產設備中最關鍵且所佔成本最高之系統。為了得到更高鍍率微奈米矽薄膜,開發自主化之大面積且超高頻的VHF PECVD設計將能影響矽薄膜太陽能電池的發展。本文先簡單說明矽薄膜太陽能電池的發展為何需要30~300 MHz之VHF PECVD,並介紹現有設備廠在大面積 VHF PECVD上的設計要點及方法。接著,文章分享如何改良現有PECVD製程腔體設計之實務經驗,包含RF電極駐波消除,阻抗匹配,腔體間電磁干擾與漏波防制與接地工程之設計實務。 |
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