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來源資料
真空科技
19:3 民95.12
頁70-75
電機工程
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題名
以電漿增強化學氣相沉積技術製作防水薄膜之研究
作者姓名(中文)
吳政洋
;
黃炳文
;
劉代山
;
書刊名
真空科技
卷期
19:3 民95.12
頁次
頁70-75
分類號
448.59
關鍵詞
電漿增強化學氣相沉積系統
;
四甲基矽烷
;
防水膜
;
水滴接觸角
;
語文
中文(Chinese)
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