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| 題 名 | 電漿製程設備之電控系統技術=Electronic Control System Technology of Plasma Processing Equipment |
|---|---|
| 作 者 | 林冠宇; 張家豪; 李侃峰; 胡家睿; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 387 2015.06[民104.06] |
| 頁 次 | 頁107-119 |
| 專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
| 分類號 | 440.34 |
| 關鍵詞 | 表面改質; 大氣電漿; 疏水抗污; Surface modification; Atmospheric pressure plasma; Hydrophobic anti-stain; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |