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題名 | 次世代FPD大氣電漿光阻灰化系統=Atmospheric-pressure Plasma System for Next-gen. FPD Photo-resist Stripping |
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作者姓名(中文) | 謝文宗; 蘇濬賢; 鄭文欽; 黃駿; 劉志宏; 許文通; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 318 2009.09[民98.09] |
頁次 | 頁49-57 |
專輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 大氣電漿技術; 平面顯示器; 光阻灰化; 表面改質; 薄膜沉積; Atmospheric-pressure plasma technology; Flat panel display; Photoresist stripping; Surface modification; Thin-film deposition; |
語文 | 中文(Chinese) |