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題名 | 簡介大氣電漿技術及產業應用=Introduction of Atmospheric-pressure Plasma Technology and Industrial Applications |
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作者姓名(中文) | 劉志宏; 陳志瑋; 張加強; 林春宏; | 書刊名 | 機械工程 |
卷期 | 262 2007.09[民96.09] |
頁次 | 頁94-105 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 大氣電漿技術; 薄膜沉積; 表面改質; 光阻灰化; 平面顯示器; 電鍍前處理; Atmospheric-pressure plasma technology; Thin film deposition; Surface modification; Photoresist stripping; Flat panel display; Plating pre-treatment; |
語文 | 中文(Chinese) |