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題 名 | 以大氣電漿進行材料表面微米級圖案化之加工技術=Fabrication of Surface Micro-patterning by Atmospheric-pressure Plasma Technology |
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作 者 | 劉志宏; 黃駿; 許文通; 蔡禎輝; 張所鋐; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 306 2008.09[民97.09] |
頁 次 | 頁66-75 |
專 輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
分類號 | 472.15 |
關鍵詞 | 表面改質; 微米級圖案化; 微米級電漿; 大氣電漿技術; Surface modification; Micro-patterning; Micro-plasmas; Atmospheric-pressure plasma technology; |
語 文 | 中文(Chinese) |