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| 題 名 | 簡介大氣電漿技術及產業應用=Introduction of Atmospheric-pressure Plasma Technology and Industrial Applications |
|---|---|
| 作 者 | 劉志宏; 陳志瑋; 張加強; 林春宏; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 282 民95.09 |
| 頁 次 | 頁87-98 |
| 專 輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
| 分類號 | 448.5 |
| 關鍵詞 | 大氣電漿技術; 薄膜沉積; 表面改質; 光阻灰化; 平面顯示器; 電鍍前處理; Atmospheric-pressure plasma technology; Thin film deposition; Surface modification; Photoresist stripping; Flat panel display; Plating pre-treatment; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |