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題名 | 簡介大氣電漿技術及產業應用=Introduction of Atmospheric-pressure Plasma Technology and Industrial Applications |
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作者 | 劉志宏; 陳志瑋; 張加強; 林春宏; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 282 民95.09 |
頁次 | 頁87-98 |
專輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 大氣電漿技術; 薄膜沉積; 表面改質; 光阻灰化; 平面顯示器; 電鍍前處理; Atmospheric-pressure plasma technology; Thin film deposition; Surface modification; Photoresist stripping; Flat panel display; Plating pre-treatment; |
語文 | 中文(Chinese) |