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題名 | 大氣電漿大面積薄膜沉積技術=Large Areas Thin Film Deposition by Atmospheric Pressure Plasma Technology |
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作者 | 蘇濬賢; 楊國煇; 蔡陳德; 張瀛方; 翁志強; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 378 2014.09[民103.09] |
頁次 | 頁13-22 |
專輯 | 先進製造技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 大氣電漿; 薄膜沉積; 氣流場分析; Atmospheric pressure plasma; Thin film deposition; Simulation of gas flow; |
語文 | 中文(Chinese) |