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題名 | 奈米模擬技術--動力蒙地卡羅方法於薄膜沉積模擬之應用 |
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作者 | 張金泉; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 204 2003.12[民92.12] |
頁次 | 頁159-165 |
專輯 | 奈米平臺/製造技術專題 |
分類號 | 468 |
關鍵詞 | 薄膜沉積; 動力蒙地卡羅; 分子動力學; 活化能; Thin film deposition; Kinetic monte carlo; Molecular dynamics; Activation energy; |
語文 | 中文(Chinese) |