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題名 | 氧化錫成份對透明鋁鋅錫氧化物薄膜電晶體的影響研究=Study of Electrical Characteristic on a-AZTO Thin-Film Transistors with Different SnO₂ Compositions |
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作者 | 陳炳茂; 王聖文; 吳明瑞; 鄧立峯; 劉柏村; | 書刊名 | 明新學報 |
卷期 | 39:2 2013.08[民102.08] |
頁次 | 頁1-15 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 氧化銦鎵鋅; 保護層; 直流濺鍍; 臨界電壓; 臨界擺幅; 電子遷移率; Al-Zn-Sn-O TFT; Environment stability; Optical band gap of Al-Zn-Sn-O; Transparent amorphous oxide semiconductor; |
語文 | 中文(Chinese) |