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| 題 名 | 大氣壓電漿技術及於光電薄膜產業之應用=Atmospheric-Pressure Plasma Technology in Thin-Film Application of Optoelectronic Industrial Application |
|---|---|
| 作 者 | 徐瑞美; 何柏慶; 黃菘宏; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 354 2012.09[民101.09] |
| 頁 次 | 頁21-33 |
| 專 輯 | 綠色製造技術專輯 |
| 分類號 | 448.5 |
| 關鍵詞 | 大氣壓電漿技術; 薄膜沉積; 光電薄膜; Atmospheric-pressure plasma technology; Thin film deposition; Optoelectronic thin films; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |