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題名 | 大氣壓電漿技術及於光電薄膜產業之應用=Atmospheric-Pressure Plasma Technology in Thin-Film Application of Optoelectronic Industrial Application |
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作者 | 徐瑞美; 何柏慶; 黃菘宏; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 354 2012.09[民101.09] |
頁次 | 頁21-33 |
專輯 | 綠色製造技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 大氣壓電漿技術; 薄膜沉積; 光電薄膜; Atmospheric-pressure plasma technology; Thin film deposition; Optoelectronic thin films; |
語文 | 中文(Chinese) |