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來源資料
科儀新知
33:6=188 2012.06[民101.06]
頁40-48
光;光學
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光學儀器
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題名
快速橢偏單層膜計算模組開發=The Software Module Development of Fast Data Calculation in Ellipsometry for Single Layer Film
作者姓名(中文)
謝余松
;
盧宥任
;
張益三
;
書刊名
科儀新知
卷期
33:6=188 2012.06[民101.06]
頁次
頁40-48
專輯
光電專輯
分類號
336.2
關鍵詞
橢偏儀
;
橢圓偏光術
;
量測計術
;
語文
中文(Chinese)
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