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題 名 | 多功光學顯微系統: 設計與研製全域非均質表面輪廓量測顯微鏡 |
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作 者 | 章鑫; | 書刊名 | 光學工程 |
卷 期 | 65 1999.03[民88.03] |
頁 次 | 頁12-14 |
分類號 | 471.713 |
關鍵詞 | 共焦顯微鏡; 光子穿隧顯微鏡; 相移干涉式顯微鏡; 橢偏儀; 非均質; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 傳統相移干涉式的顯微鏡在先天上無法準確量測非均質材料表面,故必須外加橢 偏儀做量測校準。此一做法使得量測時的不準確度增加,且無法做到全域性的量測。本論文 探討如何建立一套全新的多功光學顯微系統,以傳統低成本之光學顯微鏡為基礎,在已開發 完成之結合共焦顯微鏡與光子穿隧顯微鏡之多功顯揪系統上,加上Mirau干涉式的顯微鏡與 橢偏儀架構,以達到精密量測非均質材料表面輪廓之目的。論文中並將探討全域性Mirau干 涉式的顯微鏡與橢偏儀之各種量測架構,以及如何結合創新相位重建技術-織錦式細胞自制演 算法與橢偏參數的校正於此一全新量測系統之各項步驟。最後並利用實驗來驗證此系統架構 的可行性。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。