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來源資料
量測資訊
127 2009.05[民98.05]
頁29-35
電機工程
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電燈;照明電器
相關文獻
高速線上薄膜膜厚檢測技術
太陽能電池膜厚量測技術
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基本資料
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題名
高速線上薄膜膜厚檢測技術
作者姓名(中文)
吳智誠
;
王浩偉
;
書刊名
量測資訊
卷期
127 2009.05[民98.05]
頁次
頁29-35
分類號
448.5
關鍵詞
高速線上薄膜膜厚檢測
;
薄膜厚度量測
;
光譜反射式
;
橢偏儀式
;
語文
中文(Chinese)
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