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題 名 | MOCVD之反應室模組研究=Studies of the MOCVD Reactor Module |
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作 者 | 黃智勇; 王慶鈞; 陳建志; 林龔樑; 簡榮楨; 蔡陳德; 曾力瑋; 賴冠甫; 劉耀先; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 350 2012.05[民101.05] |
頁 次 | 頁26-33 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 有機金屬化學氣相沉積; 流場可視化; 粒子影像測速儀; 熱對流; 熱浮力效應; Metal organic chemical vapor deposition; Flow visualization; Particle image velocimetery; Heat convection; Buoyancy force; |
語 文 | 中文(Chinese) |