頁籤選單縮合
題 名 | 晶圓級毫米波元件參數量測系統 |
---|---|
作 者 | 陳文林; 黃國威; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 17:10=195 2011.10[民100.10] |
頁 次 | 頁118-129 |
專 輯 | 電子測試專輯 |
分類號 | 448.533 |
關鍵詞 | 晶圓級; 毫米波; 雜訊參數; 功率參數; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文提出操作於毫米波頻段之多功能高頻元件量測平台的架設方法及系統設計考量,藉由系統開關的切換,此量測平台可分別測得元件於毫米波頻段的散射參數、雜訊參數和功率參數。相較於量測特定元件參數而獨立架設之散射參數量測系統、雜訊參數量測系統、功率參數量測系統等三套常見設備,本系統因網路分析儀、防震桌、探針座以及探針等儀器設備皆為共用,在提供相同量測項目情況下,所需之架設成本將大幅降低。文中除介紹此晶圓級毫米波元件參數量測系統之架構及相關設計考量,並討論其於毫米波元件之測試結果。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。