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來源資料
奈米通訊
18:1 2011.03[民100.03]
頁30-37
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題 名
鎳鉑矽化物於矽碳磊晶層上生成行爲之探討
作 者
林依頻
;
黃仕賢
;
李勝偉
;
書刊名
奈米通訊
卷 期
18:1 2011.03[民100.03]
頁 次
頁30-37
分類號
448.552
關鍵詞
鎳矽化物
;
鎳鉑矽化物
;
鉑矽化物
;
矽碳磊晶層
;
熱穩定性
;
語 文
中文(Chinese)
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