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| 題 名 | AZO薄膜表面粗糙度快速光學檢測系統研發 |
|---|---|
| 作 者 | 郭啟全; 趙金聖; | 書刊名 | 電子月刊 |
| 卷 期 | 17:4=189 2011.04[民100.04] |
| 頁 次 | 頁127-139 |
| 分類號 | 448.59 |
| 關鍵詞 | 透明導電薄膜; 摻鋁氧化鋅; 光學檢測系統; 表面粗糙度; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 近年來隨著平面顯示器與太陽能電池的發展,使得透明導電薄膜(transparent conductive thin film)成為關鍵性材料之一,摻鋁氧化鋅(Al-doped zinc oxide, AZO)薄膜已經被應用於平面顯示器之透明導電薄膜材料,由於AZO薄膜之表面粗糙度(surface roughness)會影響到光電設備性能(device performance)和可靠度,因此運用AZO薄膜製作透明導電薄膜前必須了解AZO薄膜之表面粗糙度值。傳統量測AZO薄膜表面粗糙度值方法為使用掃描式電子顯微鏡(scanning electron microscope, SEM)與原子力顯微鏡(atomic force microscope, AFM),然而這一些量測方法之缺點包括量測前之前置作業(lead time)時間長以及量測速度慢。為了解決此問題,本研究發展出一套AZO薄膜表面粗糙度光學檢測系統。研究結果顯示,本光學檢測系統可精確地量測AZO薄膜表面粗糙度,量測角度60?為量測AZO薄膜表面粗糙度之最佳量測角度,表面粗糙度值之最大量測誤差率可控制在0.5 %之內,檢測時間節省效率高達83 %。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。