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| 題 名 | 製作非揮發性記憶體之BiFeO₃薄膜表面粗糙度快速光學檢測系統研發=Rapid Optical Measurement of Surface Roghness of BiFeO₃ Films for Nonvolatile Memory Application |
|---|---|
| 作 者 | 郭啟全; 趙金聖; | 書刊名 | 工業材料 |
| 卷 期 | 285 2010.09[民99.09] |
| 頁 次 | 頁169-178 |
| 分類號 | 448.5 |
| 關鍵詞 | 光學檢測系統; 鐵酸鉍薄膜; 表面粗糙度; Optical inspection system; BiFeO₃thin films; BFO thin films; Surface roughness; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |