頁籤選單縮合
題名 | 金屬閘極在HfSiON絕緣層互補式金氧半場效應電晶體之可靠度研究=Impacts on Reliability of Metal Gated CMOSFETs with HfSiON Dielectric |
---|---|
作者姓名(中文) | 陳啟文; 顏良承; 葉郁龍; 葉文冠; 陳育廷; | 書刊名 | 明新學報 |
卷期 | 37:1 2011.02[民100.02] |
頁次 | 頁85-93 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 金屬閘極; 熱載子不穩定性; 負偏壓溫度不穩定性; 閘極漏電流; 低頻雜訊; Metal gate; Hot-carrier instability; Negative-bias-temperature instability; Gate leakage current; Low frequency noise; |
語文 | 中文(Chinese) |