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題 名 | 摻雜物植入金屬矽化物與摻雜物隔離超淺接面製作技術 |
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作 者 | 李振銘; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 16:9=182 2010.09[民99.09] |
頁 次 | 頁121-129 |
專 輯 | IC製程技術專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 超淺接面; 摻雜物植入金屬矽化物; 摻雜物隔離; Ultra shallow junction; USJ; Implant to silicide; ITS; Dopant segregation; DS; |
語 文 | 中文(Chinese) |