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來源資料
真空科技
19:3 民95.12
頁76-81
電機工程
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電燈;照明電器
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題 名
共濺鍍氧化銦鋅透明導電薄膜熱穩定性之研究
作 者
林俊興
;
許加昇
;
蔡富鈞
;
劉代山
;
書刊名
真空科技
卷 期
19:3 民95.12
頁 次
頁76-81
分類號
448.5
關鍵詞
射頻磁控共濺鍍系統
;
氧化銦鋅透明導電薄膜
;
熱穩定性
;
語 文
中文(Chinese)
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