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題名 | 以田口式品質工程對原子力顯微鏡探針之可控因子作最適設計=Study on Optimum Controllable Factors of the AFM Probe by Using Taguchi Method |
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作者姓名(中文) | 潘吉祥; 黃美玲; 張家碩; | 書刊名 | 品質學報 |
卷期 | 13:1 民95.03 |
頁次 | 頁35-44 |
分類號 | 471.7 |
關鍵詞 | 原子力顯微鏡; 探針; 可控因子; 田口式品質工程; Atomic force microscope; AFM; Probe; Controllable factors; Taguchi methods; |
語文 | 中文(Chinese) |