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題 名 | 原子力顯微鏡控制架構探討 |
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作 者 | 游鴻修; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 243 2003.06[民92.06] |
頁 次 | 頁122-129 |
專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 471.7 |
關鍵詞 | 原子力顯微鏡; 掃瞄探針顯微鏡; 奈米系統控制技術; Atomic force microscopy #aAFM; Scanning probe microscope; SPM; Nanosystem control technology; |
語 文 | 中文(Chinese) |