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題名 | 奈米級顯微鏡設備長行程定位系統技術= |
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作者 | 劉景男; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200306 |
卷期 | 243 2003.06[民92.06] |
頁次 | 頁115-121 |
分類號 | 471.7 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 掃瞄探針顯微鏡; 原子力顯微鏡; 雙平臺定位系統; Scanning probe microscope; SPM; Atomic force microscope; AFM; Dual-stage positioning system; |