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| 題 名 | 奈米級顯微鏡設備長行程定位系統技術 |
|---|---|
| 作 者 | 劉景男; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 243 2003.06[民92.06] |
| 頁 次 | 頁115-121 |
| 專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
| 分類號 | 471.7 |
| 關鍵詞 | 掃瞄探針顯微鏡; 原子力顯微鏡; 雙平臺定位系統; Scanning probe microscope; SPM; Atomic force microscope; AFM; Dual-stage positioning system; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |