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題名 | 奈米級顯微鏡設備長行程定位系統技術 |
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作者姓名(中文) | 劉景男; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 243 2003.06[民92.06] |
頁次 | 頁115-121 |
專輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 471.7 |
關鍵詞 | 掃瞄探針顯微鏡; 原子力顯微鏡; 雙平臺定位系統; Scanning probe microscope; SPM; Atomic force microscope; AFM; Dual-stage positioning system; |
語文 | 中文(Chinese) |