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來源資料
機械月刊
35:1=402 2009.01[民98.01]
頁192-205
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題名
奈米級五自由度共平面微動平臺設計
作者姓名(中文)
覺文郁
;
鄧雲峰
;
書刊名
機械月刊
卷期
35:1=402 2009.01[民98.01]
頁次
頁192-205
專輯
微奈米專輯
分類號
446.8401
關鍵詞
撓性體
;
壓電致動器
;
奈米定位平臺
;
自由度平臺
;
語文
中文(Chinese)
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