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題 名 | 微調工作臺於立式平面磨床之應用 |
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作 者 | 湯國裕; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 243 2003.06[民92.06] |
頁 次 | 頁107-114 |
專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 446.8954 |
關鍵詞 | 立式平面磨床; 晶圓片; 背面磨削; 微調工作臺; 氣靜壓軸承; 壓電致動器; Vertical surface grinder; Wafer; Back grinding; Tilting table; Aerostatic bearing; Piezoelectric actuator; |
語 文 | 中文(Chinese) |