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來源資料
機械工程
233 2000.08[民89.08]
頁54-64
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題 名
晶圓旋轉夾盤研究與專利分析
作 者
陳宏銘
;
書刊名
機械工程
卷 期
233 2000.08[民89.08]
頁 次
頁54-64
專 輯
半導體設備技術
分類號
448.552
關鍵詞
旋轉夾盤
;
單晶圓片
;
旋轉塗佈
;
自我清洗
;
Spin chuck
;
Single wafer
;
Spin coating
;
Self-cleaning
;
語 文
中文(Chinese)
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