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題 名 | 晶圓旋轉夾盤研究與專利分析 |
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作 者 | 陳宏銘; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 198 1999.09[民88.09] |
頁 次 | 頁177-187 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 旋轉夾盤; 單晶圓片; 旋轉塗佈; 自我清洗; Spin chuck; Single wafer; Spin coating; Self-cleaning; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 晶圓清洗設備業隨著半導體業的復甦,呈現相當亮麗的景氣情況,也 因此吸引更多廠商的投入,無論是人力或財力方面,都到達高峰狀態,當然也 使得各家的競爭更趨激烈。為提升國內本土清洗設備的研發能力,本文特別介 紹清洗設備的主要關鍵元件-夾盤,包括常用材質分析與夾盤夾持機構專利, 使國內廠商能對晶圓夾盤有更多的認識,進而開發出更具市場競爭力的產品, 同時避免侵犯他國的專利著作權。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。