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題名 | 奈米級表面聲波致動定位技術介紹= |
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作者 | 朱怡銘; 巫震華; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200306 |
卷期 | 243 2003.06[民92.06] |
頁次 | 頁169-182 |
分類號 | 446.8401 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 表面聲波致動器; 奈米定位平臺; 雷射干涉儀; 光學尺; SAW actuator; Nano positioning stage; Laser interferometer; Linear encoder; |