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題名 | 長行程奈米定位平臺之表面聲波與磁力致動技術=Long-Stroke-Nano-positioning Stage Driven by Two Ways-Surface Acoustic Wave and Magnetism |
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作者姓名(中文) | 巫震華; 王維漢; 林康寧; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 255 2004.06[民93.06] |
頁次 | 頁163-175 |
專輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 表面聲波致動器; 磁力致動器; 奈米定位平臺; 光學尺; SAW actuator; Magnetic actuator; Nano-positioning stage; Linear encoder; |
語文 | 中文(Chinese) |