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題名 | 電射光學尺在高速超精密定位平台之頻寬匹配研究 |
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作者姓名(中文) | 袁琪葦; 陳昭宇; 吳文中; 李世光; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 249 2003.12[民92.12] |
頁次 | 頁95-100 |
專輯 | 電腦整合自動化專輯 |
分類號 | 471.7 |
關鍵詞 | 繞射式光學尺; 微奈米定位; 超精密定位平台; Diffraction laser encoder; Nano-positioning; Auto precise position stage; |
語文 | 中文(Chinese) |