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題 名 | Positional Error Compensation of a Precision Microstage=精密微步平臺的定位誤差補償 |
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作 者 | 范光照; 林勤喻; 徐力弘; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 19:6 1998.12[民87.12] |
頁 次 | 頁543-548 |
分類號 | 446.84 |
關鍵詞 | 微步平臺; 定位誤差補償; 雷射干涉儀; 校正; Microstage; Positioning error; Error compensation; |
語 文 | 英文(English) |
英文摘要 | 本文中首先利用實驗法以雷射干涉儀校正壹臺臺微步進馬達驅動的精密線性平臺 的定位精度.結果發現在大步位移時會有兩個簡諧波的週期性誤差.此由驅動機構所產生的 誤差可達兩個微米以上,另外發現在微步位移時會有第三種週期性誤差,此由徽步進馬達內 部線圈機構所產生的誤差可達 0.6 微米, 經由最小平方和法綴合出此兩類週期性誤差的數 學方程式,並存於誤差庫中,再以前置迴饋控制法來補償此精密線性平臺的定位精度.實驗 結果証實,在大步位移下定位誤差可由原先的± 2.5 微米降到± 0.5 微米;而在徽步位移 時可由原先的 0.6 微米降到± 0.1 微米,本研究很明顯的提升了精密微步線性平臺的定位 精度。 budget. A feed-forward error compensation strategy was employed during the position control of the microstage. Having removed the cyclic errors, the positioning accuracy of the stage could be enhanced from ± 2.5 μ m to ± 0.5 μ m for coarse steps, and from 0.6 μ m to ± 0.1 μ m for fine steps. A great improvement was achieved. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。