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| 題 名 | 長行程奈米級三自由度運動平臺=Development of the Long-stroke Three Degree-of-freedom Nano-stage |
|---|---|
| 作 者 | 覺文郁; 鄧雲峰; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
| 卷 期 | 35 2013.11[民102.11] |
| 頁 次 | 頁14-20 |
| 專 輯 | 奈米量測與檢測 |
| 分類號 | 446.8401 |
| 關鍵詞 | 撓性體; 壓電致動器; 壓電補償平臺; 線性馬達; Flexible body; Piezoelectric actuator; PZT stage; Linear motor; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |