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題名 | 長行程奈米級三自由度運動平臺=Development of the Long-stroke Three Degree-of-freedom Nano-stage |
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作者姓名(中文) | 覺文郁; 鄧雲峰; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷期 | 35 2013.11[民102.11] |
頁次 | 頁14-20 |
專輯 | 奈米量測與檢測 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 撓性體; 壓電致動器; 壓電補償平臺; 線性馬達; Flexible body; Piezoelectric actuator; PZT stage; Linear motor; |
語文 | 中文(Chinese) |